臺階規長350mm，寬50mm。階梯高度20mm，共5個臺階。
臺階規底面為平面，不得有局部或邊緣突起。
采用玻璃靶標，靶標上刻直徑φ5輪廓線，φ5圓心刻十字線，線長3mm。
全部線寬為<5μm。玻璃靶標厚度2mm。凹槽臺階面的平面度0.005mm
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